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工商時報【涂志豪桃園市八德區後庭拉珠╱台北報導】

隨著新一代極紫外光（EUV）微影技術日漸成熟，繼英特爾及三星決定在7奈米導入EUV技術後，台積電也計畫在7奈米量產的第二年開始導入EUV技術。業者預估，EUV進入量產時間點將落在2018～2019年之間，2017年將是布建產能及完成技術認證的關鍵年，設備廠家登（3680）EUV光罩盒（EUV Pod）已獲半導體廠大單並量產出貨，對今、明兩年展望樂觀。

微影設備大廠艾司摩爾（ASML）公告去年第四季財報優於預期，其中有關EUV設備部分，已接單未出貨（backlog）數量已達18台，營收規模已達20億歐元。而艾司摩爾指出，客戶端將在屏東縣麟洛鄉美女交友7奈米邏輯製程及1y奈米DRAM製程採用EUV技術，今年第一季還可接獲更多EUV機台訂單。

事實上，隨著邏輯製程微縮到7奈米以下，為了有效降低成長及提高產臺南市下營區真人娃娃能，EUV技術取代現行的浸潤式技術已是未來趨勢。除了英特爾計畫在7奈米採用EUV技術後，三星也已宣布將在7奈米開始導入EUV製程。

台積電原本預期在5奈米世代才會導入EUV，但共同執行長劉德音於日前法說會中指出，將在7奈米量產後一年，也就是2019年，開始在部分光罩製程中採用EUV技術，希望可以讓製程更成熟以利5奈米時可大量導入EUV。

由此來看，EUV真正導入量產時間點，將落在2018～2019年之間，而2017年將是加快布建EUV產能並完成製程認證的重要時間。也因此，在EUV光罩盒擁有許多專利的家登，將成為微影技術快速走向EUV時代的主要受惠者，今年已接獲國際半導體大廠的EUV光罩盒訂單並小量出貨，明年出貨量將明顯放大，2019年可望擠身全球最大EUV光罩盒供應商。

家登去年第四季受惠於光罩及晶圓傳載產品持續拿下台灣及大陸等地晶圓代工廠大單，12月合併營收月增14.1％達2.48億元，創下單月營收歷史新高，去年第四季合併營收6.54億元，季增22.2％並創歷史新高。

法人指出，家登在12吋晶圓光罩盒及晶圓傳載方案上布局多年，今年不僅受惠於大陸晶圓廠訂單持續轉強，也在EUV光罩盒上順利搶下前三大半導體廠訂單。家登過去2年的產能布局已經完成，今年可望進入收割期，全年營收及獲利將改寫歷史新高。

中國時報【本報訊】

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